蔵書情報
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書誌情報サマリ
書名 |
クリーンルームと機器・材料 CMCテクニカルライブラリー
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出版者 |
シーエムシー
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出版年月 |
2001.2 |
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書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
タイトルコード |
1009910190533 |
書誌種別 |
図書(日本語) |
出版者 |
シーエムシー
|
出版年月 |
2001.2 |
ページ数 |
284p |
大きさ |
21cm |
分類記号 |
528.2
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クリーンルーム |
書名 |
クリーンルームと機器・材料 CMCテクニカルライブラリー |
書名ヨミ |
クリーン ルーム ト キキ ザイリョウ |
内容紹介 |
半導体製造プロセスをはじめ、精密機械、医療、食品・薬品製造などの分野でも欠かせないクリーンルームの技術動向を解説。関連機器・設備、関連材料についてもまとめた。1990年刊「クリーンルーム技術と材料」の普及版。 |
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日本語 |
累積注記 |
初版の書名:クリーンルーム技術と材料 |
目次
内容細目表:
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資料情報
各蔵書資料に関する詳細情報です。
№ |
所蔵館 |
資料番号 |
資料種別 |
請求記号 |
配架場所 |
帯出区分 |
状態 |
貸出
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1 |
中央 | 0145378873 | 一般図書 | 528/ク/ | 自動書庫 | 帯出可 | 在庫中 |
○ |
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