蔵書情報
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書誌情報サマリ
書名 |
トコトンやさしい超微細加工の本 B&Tブックス
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著者名 |
麻蒔 立男/著
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著者名ヨミ |
アサマキ タツオ |
出版者 |
日刊工業新聞社
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出版年月 |
2004.1 |
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書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
タイトルコード |
1009910476053 |
書誌種別 |
図書(日本語) |
著者名 |
麻蒔 立男/著
|
著者名ヨミ |
アサマキ タツオ |
出版者 |
日刊工業新聞社
|
出版年月 |
2004.1 |
ページ数 |
159p |
大きさ |
21cm |
分類記号 |
549
|
|
電子工学 ナノテクノロジー |
書名 |
トコトンやさしい超微細加工の本 B&Tブックス |
書名ヨミ |
トコトン ヤサシイ チョウビサイ カコウ ノ ホン |
内容紹介 |
電子デバイスに欠かせないキーテクノロジーであり、ナノテクノロジーの中核技術として注目されている超微細加工について、半導体部品などへの適応を中心に、基礎を図解でやさしく解説する。 |
著者紹介 |
昭和9年愛知県生まれ。静岡大学工学部電子工学科卒業。日電バリアン(現、アネルバ)設立。同社取締役も務めた。現在、東京理科大学嘱託教授。著書に「真空の話」「薄膜作成の基礎」ほか。 |
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日本語 |
目次
内容細目表:
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資料情報
各蔵書資料に関する詳細情報です。
№ |
所蔵館 |
資料番号 |
資料種別 |
請求記号 |
配架場所 |
帯出区分 |
状態 |
貸出
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1 |
中央 | 0147901250 | 一般図書 | 549/ア/ | 自動書庫 | 帯出可 | 在庫中 |
○ |
2 |
生涯学習 | 0145640595 | 一般図書 | 549/ア/ | 地区開架 | 帯出可 | 在庫中 |
○ |
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